Apa gunane silikon nitrida ing piranti semikonduktor?

Silicon nitride (Si3N4)minangka senyawa sing umum digunakake ing piranti semikonduktor amarga sifat listrik, termal, lan mekanik sing unik. Mangkene sawetara panggunaan utama silikon nitrida ing teknologi semikonduktor:

1. Insulator Gerbang:Silicon nitrideasring digunakake minangka bahan insulator gerbang ing piranti metal-oksida-semikonduktor (MOS). Tumindak minangka lapisan dielektrik antarane elektroda gerbang logam lan substrat silikon sing ndasari, nyedhiyakake isolasi listrik. Silicon nitride nduweni konstanta dielektrik dhuwur (permitivitas relatif) lan kanthi efektif ngalangi aliran arus listrik. Sifat insulasi sing apik banget mbantu njaga kontrol aliran daya ing piranti kasebut.

2. Passivation: Silicon nitride asring digunakake minangka lapisan passivation ing semikonduktor kanggo nglindhungi struktur piranti aktif saka rereged external, Kelembapan, lan karusakan fisik. Iki mbantu nambah linuwih lan stabilitas piranti kanthi jangka panjang kanthi nyegah panyebaran impurities, nyuda kebocoran saiki, lan menehi penghalang protèktif marang migrasi ion.

3. Barrier Difusi: Silicon nitride bisa tumindak minangka lapisan alangi kanggo nyegah difusi undesired saka dopants utawa impurities saka lapisan tetanggan. Bisa digunakake kanggo ngisolasi wilayah sing beda saka piranti semikonduktor, nyegah interaksi sing ora dikarepake lan njamin fungsi sing tepat.

4. Topeng Etch: Silicon nitride tahan kanggo akeh etchants sing umum digunakake ing proses manufaktur semikonduktor. Bisa pola lan selektif etched kanggo nggawe struktur piranti Komplek utawa kanggo netepake pola kanggo langkah Processing sakteruse. Resistensi etch ndadekake bahan sing cocog kanggo digunakake minangka topeng etch utawa topeng hard ing macem-macem proses litografi lan etsa.

5. MEMS lan Sensor: Silicon nitride nemokake panggunaan ekstensif ing sistem microelectromechanical (MEMS) lan aplikasi sensor. Sifat mekanik sing apik banget, kalebu kekerasan, kekuatan, lan tahan kanggo nyandhang, cocog kanggo digunakake minangka bahan struktural ing mikrosensor lan mikroaktuator.

sakabèhé,silikon nitridanduweni peran wigati ing desain, fabrikasi, lan kinerja piranti semikonduktor, nyumbang kanggo isolasi listrik, pangayoman, lan nambah karakteristik piranti. Sifat-sifat kasebut ndadekake bahan serbaguna lan akeh digunakake ing industri semikonduktor.